第六百五十七章 时间才是最大的敌人
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“大陆晴风集团创始人?” “旗下已有三家上市公司,资产数百亿?内地隐形富豪?” “白手起家,竟然才26岁?” 看到叶风的资料,张中谋怀疑是不是底下的搞错了? 很快,他就打消了这个念头。 能摆上他案头的,自然是确定无数次的材料。 和叶风的资料一起摆上案头的,还有近期中芯的变化。 “刚刚经历了非典的冲击,中芯就开始量产90nm的工艺的芯片了吗?” “中芯竟然从荷兰阿斯麦公司进口了一台最先进的光刻机。还是今年才从香江维多利亚港装船的。” “中芯那边有高人啊,居然没有找“光刻机霸主”——东洋的尼康和佳能购买设备,反而找到这家小厂?” 张中谋不得不佩服中芯高人的眼光独到之处。 荷兰的光刻机技术不比东洋差,但是名气要小得多。他们正好需要打破东洋的垄断,只要中芯许之与厚利就能突破《瓦森纳协定》的封锁,从而买到最先进的光刻机。 去年积电代工英特尔最成熟的芯片工艺,就是90nm的。 中芯这是追到积电的屁股后面了。 双方的技术代差,只有半代了。 想到这里。 张中谋不慌不忙,吩咐助理:“把林苯坚叫来。” …… 不一会,一名50来岁的清瘦男子奉命前来。 此人正是积电技术副总监林苯坚,1970年获得美国俄亥俄州立大学电机工程博士,在IBM一干就是22年,专攻高成像技术。 2000年,林苯坚加入了积电,提出一系列突破性的创新,研发湿法光刻技术。 这项技术和如今的干法光刻技术方案背道而驰,林苯坚还被圈内人吐槽是“挡在航空母舰面前不自量力的飞鸟”。 此方案也遭到了如今“光刻机霸主”东洋佳能和尼康的抵制。林苯坚刚刚提出即遭反对,心情自然是郁闷无比,只得暗自研究相关工艺。 “张总,您找我?”林苯坚进门,就看到张中谋在看资料沉思。 “苯坚呐,你来了。”张中谋闻言抬头,喜道:“快请坐。” 待到林苯坚小心地坐下后,张中谋笑道:“苯坚啊,你上次申请的湿法光刻技术项目,我研究后很有兴趣,你能对我再讲讲你的看法吗?” “啊……” 林苯坚闻言又惊又喜,惊的是德高望重的张中谋亲自研究了他的项目方案,喜的是自己终于得到了发挥的机会。 他整理了一下思路,缓缓道:“传统的干式光刻法,自1959年发明‘平面积成电路’以来,被持续使用了四十年,然而受限于基本光学衍射,在90年代后期,用该方法制造特征尺寸小于65纳米的芯片面临无法逾越的瓶颈。” 林苯坚坚定地道:“我预见昂贵的干式光刻技术将进入死角,所以建议使用湿式光刻,该方法是一种新的光刻工序,透过液体介质置换透镜和晶圆表面之间的气隙以提高光学解析精度。”